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ICS 77.150 H 66 中华人民共和国国家标准 GB/T 11071—2018 代替GB/T11071—2006 区熔锗锭 Zone-refined germanium ingot 2019-07-01实施 2018-12-28发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 11071—2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T11071—2006《区熔锗锭》,与GB/T11071—2006相比,除编辑性修改外主要技 术变化如下: 范围进一步明确为“本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料,经区熔提纯工艺制备得到 的区熔锗锭。ZGe-0区熔锗锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶;ZGe-1 区熔锗锭主要用于制备红外光学用的锗单晶、太阳能电池用的锗单晶及各类锗-铬、锗-硅合金 等”(见第1章)。 增加了区熔锗锭在(23士0.5)℃下电阻率的要求(见3.2)。 一“同一根锗锭的最大与最小截面面积之差不大于平均截面面积的15%”修改为“同一根区熔锗 锭的头尾两端的高度差不大于4mm"(见3.3,2006年版的3.3)。 一“锭长100mm~500mm"修订为"长度应不小于100mm"(见3.3,2006年版的3.3)。 一增加了区熔锗锭的表面应无孔洞的要求(见3.4,2006版的3.4)。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、有研光电新材料有限责任公司、中锗科技有限 公司、衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司、广东先导稀材股份有限公司、锡林郭勒通力锗业有限责任公 司、云南东昌金属加工有限公司。 本标准主要起草人:包文东、普世坤、李贺成、冯德伸、惠峰、范德胜、朱知国、李正美、董汝昆、朱刘、 尹士平、王晓华。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: GB/T11071—1989,GB/T11071—2006。 1 GB/T11071—2018 区熔锗锭 1范围 本标准规定了区熔锗锭的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单 (或合同)内容。 本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料,经区熔提纯工艺制备得到的区熔锗锭。ZGe-O区 熔锗锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶;ZGe-1区熔锗锭主要用于制备红外光学 和太阳能电池用的锗单晶及各类锗-铬、锗-硅合金等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 YS/T602区熔锗锭电阻率测试方法两探针法 3要求 3.1产品分类 区熔锗锭按电学性能分为两个牌号:ZGe-0、ZGe-1。 ZGe- 口 阿拉伯数字,表示产品等级 表示区熔锗锭 3.2电学性能 区熔锗锭的电学性能应符合表1的规定。电阻率可选择采用在20℃或23℃的条件下进行测试, 并满足表1的规定。 表1 电学性能 电阻率/(α·cm) 检测单晶的参数(77K) 牌号 载流子浓度 载流子迁移率 (20±0.5)℃ (23±0.5)℃ cm-3 cm-3 /(V . S) ZGe-0 ≥50 ≥47 ≤1.5×1012 ≥3.7X104 ZGe-1 >50 ≥47 3.3尺寸外形 区熔锗锭的横截面应为梯形,同一根区熔锗锭的头尾两端的高度差应不大于4mm。区熔锗锭的 GB/T11071—2018 上宽应不小于26mm,下宽应不小于21mm,高度应不小于23mm,长度应不小于100mm。 3.4表面质量 区熔锗锭的表面应呈银灰色光泽,无氧化膜、裂纹、孔洞和浮渣。 3.5其他 需方如对产品电学性能和尺寸外形等有其他特殊要求,可由供需双方另行商定。 4试验方法 4.1区熔锗锭的电阻率检验按YS/T602的规定沿区熔锗锭底面的中心线纵向进行检验,点间距不大 于30mm 4.2锗单晶的载流子浓度和载流子迁移率的检验按GB/T4326的规定进行,测试样品从头部切取, 4.3区熔锗锭的横截面尺寸用游标卡尺进行测量,长度用直尺进行测量。 4.4区熔锗锭的表面质量用目视检查。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定,并填写 质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符 时,应在收到产品之日起1个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样按5.4进行 5.2组批 区熔锗锭应成批提交验收。每批应由同一牌号的产品组成,每批不大于100kg。 5.3检验项目 5.3.1每批产品应对电阻率、尺寸外形、表面质量进行检验。 5.3.2ZGe-0牌号的产品需制成锗单晶后对载流子浓度、载流子迁移率进行检验 5.4取样和制样 5.4.1尺寸外形和表面质量的检验应逐根进行。 5.4.2电阻率的检验取样按总根数的10%抽取。 5.4.3ZGe-0牌号产品的载流子浓度和载流子迁移率的取样按每批随机抽取1根,并按附录A规定的 方法将其制备成单晶。 5.5检验结果的判定 5.5.1尺寸外形或表面质量的检验结果不合格时,判该根产品不合格。 5.5.2电阻率的检验结果不合格时,判该批产品不合格。 5.5.3ZGe-0牌号产品的载流子浓度或载流子迁移率的检验结果不合格时,判该批产品不合格,或由供 需双方协商确定。 2 GB/T11071—2018 6 标志、包装、运输、贴存和质量证明书 6.1标志 6.1.1每根区熔锗锭应密封于聚乙烯薄膜袋中,并在袋上贴上标签,注明供方名称、商标、牌号和批号。 6.1.2区熔锗锭应成箱包装,每箱应注明: 供方名称; b)产品名称和牌号; c)批号。 6.2包装 6.2.1将密封于聚乙烯薄膜袋中的区熔锗锭放在泡沫塑料垫的凹槽内,然后叠放人符合环保要求的包 装箱内,并用填料塞紧,以防区熔锭窜动。每箱区熔锗锭质量不大于50kg。包装箱外用包扎带捆 牢,箱外应有“防震”“防潮”“防腐蚀”字样或标志。 锗单晶和检测样品分别密封装在聚乙烯薄膜袋内,并计入批重,并在箱外注明“内有检测样品”字样。 6.3 3运输、贮存 区熔锗锭在运输和贮存过程中要防止机械损伤、防腐蚀、防潮、防震动。 6.4质量证明书 每批产品应附有质量证明书,其上注明: a)) 供方名称、地址、电话、传真; b) 产品名称和牌号; 批号; (P 分析检验结果和技术监督部门印记; e) 本标准编号; 出厂日期(或包装日期)。 7订货单(或合同)内容 本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容: a)产品名称; b) 牌号; 尺寸外形、电阻率及其他特殊要求; (P 数量; e)本标准编号; f)其他。 3
GB-T 11071-2018 区熔锗锭
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