ICS13.040.35 CCSC70 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017 洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemicalclassifications (ISO14644-13:2017,IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T 25915.13—2022/ISO14644-13:2017 目次前言引言范围规范性引用文件术语和定义一般方法对象描述洁净度要求初始污染水平的测定清洁方法的选择 10 材料相容性检套 11 清洁验证 12 测量方法 13 记录 12 附录A（资料性）清洁要素 13 附录B（资料性）清洁方法 14 附录C（资料性）材料与清洁剂的相容性 20 附录D（资料性）洁净度测量 22 参考文献 26

GB-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

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