ICS 31.080.99 L 55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32817—2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices- Generic specificationfor MEMS (IEC62047-4:2008,SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices- Part 4:Generic specification for MEMS,MOD) 2016-08-29发布 2017-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会
GB-T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
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