ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33838—2017/ISO/TS24597:2011 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法 Microbeam analysisScanning electron microscopy- Methods of evaluating image sharpness （ISO/TS24597:2011,IDT） 2017-05-31发布 2018-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33838—2017/ISO/TS24597:2011 目 次 前言 范围 规范性引用文件 3 术语和定义 获取SEM图像的步骤 4.1 概述 4.2 试样 4.3 试样倾斜 4.4 视场选择 4.5 像素大小选择 4.6 图像亮度和衬度 4.7 图像衬噪比 4.8 图像聚焦和像散 4.9 外部因素干扰 4.10 错误衬度 4.11 SEM图像数据文件 5 SEM图像获取及图像区域选择 6 评估方法 6.1 概述 6.2 衬噪比 6.3 傅立叶变换（FT)法 6.4 衬度-梯度(CG)法 6.5 导数(DR)法 7 测试报告· 7.1 概述 7.2 测试报告内容 附录A（规范性附录） 衬噪比(CNR)细节…. 15 附录B（规范性附录） 傅立叶变换（FT)法细节 19 附录C（规范性附录） 衬度-梯度(CG)法细节 32 附录D（规范性附录） 导数(DR)法细节 附录E（资料性附录） 评估图像锐度的背景· 59 附录F（资料性附录） 各种评估方法的特征和适用性 63 附录G（资料性附录） 用于评估图像锐度的试样的制备方法 66 附录H（资料性附录） 测试报告示例 68 参考文献 70
GB-T 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法
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