ICS 13.040.35 GB C 70 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.3—2010/IS014644-3:2005 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 3:Test methods (ISO14644-3:2005,IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.3—2010/ISO14644-3:2005 目 次 前言 引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 3. 1 一般术语 3. 2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器和过滤系统 3.4 气流 3.5 静电测量 3.6 测量器具和测量条件 3. 7 占用状态 检测规程 4.1 洁净室检测 4. 2 原理 5检测报告 附录A（资料性附录） 检测项目的选择和实施顺序 10 附录B（资料性附录） 检测方法 13 附录C（资料性附录） 检测仪器 40 参考文献 53
GB-T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法
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