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ICS_17.040. 30 L 85 中华人民共和国国家标准 GB/T 24468—2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性 (RAM)的定义和测量规范 Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability (RAM) 2009-10-15发布 2009-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 24468—2009 目 次 前言 I 1 目的 2 范围 3 规范性引用文件 4 术语和定义 5 设备的状态 6 RAM 测量 8 7 不确定度测量 11 8 可靠性增长或退化的测量 13 9 集群设备RAM测量 13 附录A(规范性附录) 置信限系数 14 附录B(规范性附录) 集群设备RAM的测量 17 附录C(资料性附录) 可靠性增长或退化模型 27
GB-T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性 RAM 的定义和测量规范
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