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ICS 31.200 L 56 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T19403.1--2003/IEC 60748-11-1:1992 QC 790101 半导体器件集成电路第11部分：第1篇：半导体集成电路内部目检（不包括混合电路） Semiconductor devices--Integrated Circuits-- Part 11:Section 1:Internal visual examination for semiconductor integrated circuits (excluding hybrid circuits) (IEC 60748-11-1:1992,IDT) 2003-11-24发布 2004-08-01实施中华人民共和国发布国家质量监督检验检疫总局 GB/T 19403.1—2003/IEC 60748-11-1:1992 目次前言范围和目的 2 设备 3 程序 3.0介绍 3.0.1 总则 3.0.2 检验顺序 3.0.3 空气洁净度等级 3.0.4 检验控制 3.0.5 放大倍率 3.0.6 定义（仅为检验之目的） 3.0.7 说明 3.1 试验条件 3.1.1 金属化层缺陷，高倍· 3.1.2 扩散和钝化层缺陷，高倍· 3.1.3 划片和芯片缺陷，高倍…… 3.1.4 键合检验，低倍 3.1.5 内引线，低倍 3.1.6 封装条件，低倍· 3.1.7 玻璃钝化层缺陷，高倍 3.1.8 介质隔离，高倍 3.1.9 膜电阻，高倍· 3.1.10 激光修正的膜电阻器，高倍 3.2 规定的条件

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