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ICS 23.160 CCS J 78 GB 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 GB/Z 42625—2023/ISO/TS 20175:2018 真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性 Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement (ISO/TS 20175:2018,IDT) 2023-05-23 发布 2023-05-23实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/Z 42625—2023/ISO/TS 20175:2018 目次前言 II 引言 IV 范围 1 规范性引用文件 2 术语和定义 3 符号和缩略语不同应用状况下要求或推荐的特征参数 5 般要求 5.1 5.2 QMS 的一般特性 5.3 漏率测量与监测(气泄漏) 5.4 漏率监测(空气泄漏) 5.5 漏率监测(水泄漏) 5.6 残余气体分析 5.7 放气率测试 6表征QMS的真空系统 6.1 一般要求 6.2 用于表征的单一气体真空系统 6.3 用于表征的混合气体真空系统表征与校准程序 7.1 -般要求 7.2 质量分辨率 7.3 最小可检分压力（MDp） 7.4 最小可检浓度（CMDc） 7.5 动态范围· 7.6 灵敏度与干扰效应比 7.7 线性响应范围 12 7.8 相对灵敏度系数 2 7.9 图形模式(裂解模式）· 13 7.10 QMS 的放气率 13 7.11 QMS 的抽速 13 测量不确定度 8.1 般要求 8.2 质量分辨率的不确定度

GB-Z 42625-2023 真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性

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