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ICS 23.160 GB CCS J 78 中华人民共和国国家标准 GB/T 43916—2024/ISO 20146:2019 真空技术 真空计 电容薄膜真空计的 规范、校准和测量不确定度 Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications,calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges (ISO 20146 :2019,IDT) 2024-04-25 发布 2024-04-25实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 43916—2024/ISO 20146:2019 次 目 前言 III 1 范围 规范性引用文件 2 术语和定义 3 3.1 组成 3.2 物理参数 3.3 其他参数 缩略语 4 电容薄膜真空计 5 5.1 原理 6电容薄膜真空计规范 6.1 电容薄膜真空计类型 6.2 规管温度控制 6.3 信号输出单元的显示和测量 6.4 电容薄膜真空计的测量范围 6.5 目标测量不确定度 6.6 零点和全量程的温度系数 6.7 分辨力 6.8 规管响应时间 预热时间 6.9 6.10 允许压力（最大负载压力） 6.11 破坏压力(爆破压力) 6.12 接触气体的材料 6.13 规管安装方向 6.14 腔室的接口 6.15 内部容积· 6.16 接口和引脚连接 6.17 规管和控制器的兼容性 6.18 规管和控制器的尺寸和质量 6.19 常规工作(环境)条件 6.20 储存和运输条件· 6.21 供电要求 电容薄膜真空计附加（可选）规范

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