ICS31.200
L55
中华人民共和国国家标准
GB/T26112—2010
微
机电系统(MEMS)技术
微机械量评定总则
Micro-electromechanicalsystemtechnology—
Generalrulesfortheassessmentofmicro-mechanicalparameters
2011-01-10发布 2011-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中
原工学院。
本标准主要起草人:胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。
ⅠGB/T26112—2010
GB-T 26112-2010 微机电系统 MEMS 技术 微机械量评定总则
GB-T 26112-2010 微机电系统 MEMS 技术 微机械量评定总则
文档预览
中文文档
16 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
温馨提示：本文档共16页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 人生无常 于 2025-02-21 14:15:50上传分享
友情链接
- DB32-T 3721-2020 高标准农田建设项目制图及其图例规范 江苏省.pdf
- T-CQJR 001—2022 绿色金融数字化平台建设指南.pdf
- GB-T 35286-2017 信息安全技术 低速无线个域网空口安全测试规范.pdf
- GB-T 31200-2014 电梯、自动扶梯和自动人行道乘用图形标志及其使用导则.pdf
- JY-T 0568-2020 电感耦合等离子体质谱分析方法通则.pdf
- GB-T 31257-2014 蹦极通用技术条件.pdf
- GB-T 42888-2023 信息安全技术 机器学习算法安全评估规范.pdf
- 数据安全管理总纲.pdf
- DB34-T 1835-2022 高速公路收费人员微笑服务规范 安徽省.pdf
- GB-T 42583-2023 信息安全技术 政务网络安全监测平台技术规范.pdf
- GB-T 20512-2006 GPS接收机导航定位数据输出格式.pdf
- 攻击面管理平台技术白皮书202304.pdf
- GM T 0130-2023 基于SM2算法的无证书及隐式证书公钥机制.pdf
- GB-T 43566-2023 中小学人造草面层足球场地.pdf
- 关于印发基础电信企业资产安全管理平台和网络安全态势感知平台建设指南的函.pdf
- GB-T 18959-2023 木材保管规程.pdf
- GB-T 35856-2018 飞机电气设备绝缘电阻和耐电压试验方法.pdf
- GB-T 13560-2017 烧结钕铁硼永磁材料.pdf
- GB-T 30142-2013 平面型电磁屏蔽材料屏蔽效能测量方法.pdf
- GB-T 29920-2013 电工用稀土高铁铝合金杆.pdf