ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T14603—2025 代替GB/T14603—2009,GB/T26251—2010等 电子气体 卤化物气体 Electronicgas—Halidegas 2025-08-01发布 2026-02-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T14603—2009《电子工业用气体 三氟化硼》、GB/T14602—2014《电子工业用气 体 氯化氢》、GB/T18994—2014《电子工业用气体 高纯氯》、GB/T17874—2021《电子特气 三氯化 硼》、GB/T26251—2010《氟和氟氮混合气体》,与GB/T14603—2009、GB/T14602—2014、 GB/T18994—2014、GB/T17874—2021、GB/T26251—2010相比,除结构调整和编辑性改动外,主要 技术变化如下: ———更改了范围(见第1章,GB/T14603—2009的第1章、GB/T14602—2014的第1章、 GB/T18994—2014的第1章、GB/T17874—2021的第1章、GB/T26251—2010的第1章); ———增加了“术语和定义”(见第3章); ———更改了卤化物气体的技术要求(见第4章,GB/T14603—2009的第3章、GB/T14602—2014 的第3章、GB/T18994—2014的第3章、GB/T17874—2021的第4章、GB/T26251—2010 的第3章); ———更改了采样的要求(见第5章,GB/T14603—2009的4.1.2、GB/T14602—2014的4.1.2、 GB/T18994—2014的4.1.2、GB/T17874—2021的5.2、GB/T26251—2010的4.1.3); ———更改了纯度计算方法(见6.1,GB/T14603—2009的4.2); ———更改了三氟化硼中氧+氩、氮、二氧化碳、二氧化硫含量的测定方法(见6.2,GB/T14603— 2009的4.3和4.6); ———增加了三氟化硼中甲烷、一氧化碳含量的测定方法(见6.2); ———更改了三氟化硼中四氟化硅含量的测定方法(见6.3,GB/T14603—2009的4.4); ———删除了三氟化硼中硫酸盐含量的测定方法(见GB/T14603—2009的4.5); ———增加了三氟化硼中氟化氢含量的测定方法(见6.3); ———更改了氯化氢中氧+氩、氮、甲烷、乙炔、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.4, GB/T14602—2014的4.3); ———更改了高纯氯中氢、氧+氩、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.5,GB/T18994— 2014的4.3); ———更改了高纯氯中金属元素含量的测定方法(见6.17,GB/T18994—2014的4.5); ———增加了三氟化氯中氧+氩、氮、四氟化碳含量的测定方法(见6.9); ———增加了三氟化氯中氟化氢含量的测定方法(见6.10); ———更改了氟氮混合气中氟含量的测定方法(见6.11,GB/T26251—2010的4.2); ———更改了氟氮混合气中(氧+氩)含量的测定方法(见6.12,GB/T26251—2010的4.2); ———更改了氟氮混合气中四氟化碳、氟化氢含量的测定方法(见6.13,GB/T26251—2010的4.2); ———增加了氟氮混合气中六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、碳酰氟、四氟化硅含量的测定方法(见 6.13); ———增加了溴化氢中氢、氧+氩、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.14); ———增加了溴化氢中氯化氢含量的测定方法(见6.15); ———增加了溴化氢中水分含量的测定方法(见6.16); ———增加了三氟化硼中金属元素含量的测定方法(见6.17); ⅠGB/T14603—2025 ———更改了氯化氢中金属元素含量的测定方法(见6.17,GB/T14602—2014的4.5); ———增加了三氟化氯中金属元素含量的测定方法(见6.17); ———增加了溴化氢中金属元素含量的测定方法(见6.17); ———增加了尾气处理的要求(见6.18); ———更改了检验规则(见第7章,GB/T14603—2009的4.1、GB/T14602—2014的4.1、 GB/T18994—2014的4.1、GB/T26251—2010的4.1); ———更改了标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求(见第8章,GB/T14603—2009的第5章、 GB/T14602—2014的第5章、GB/T18994—2014的第5章、GB/T17874—2021的第8章、 GB/T26251—2010的第5章)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、山东合益气体股份 有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、福建福豆新材料有限公 司、大连华邦化学有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建永晶科技股份有限公司、迪森尔(北京)科 技有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、浙江英德赛半导体材 料股份有限公司、广州广钢气体能源股份有限公司、同方威视技术股份有限公司、北京鉴知技术有限公 司、宁波从越科技创新有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、北京普瑞分 析仪器有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、南大光电(乌兰察 布)有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中昊光明化工 研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、 布鲁克(北京)科技有限公司、杭州云必技术有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体 有限公司、联雄投资(上海)有限公司、朗析仪器(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中 复科金压力容器有限公司、中国计量大学、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、爱尔兰 AGC仪器有限公司北京代表处、上海凡伟仪器设备有限公司、贵州省产品质量检验检测院、宿州伊维特 新材料有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:赖晓峰、陈施华、杨军、李建新、郭晓俊、马建修、李嘉磊、王哲军、李智、孙芳、 郭琼、侯鹏、钱吉、赵斌、吴希湖、刘春花、李文、李长健、彭佛晓、任如、徐正军、郑存强、倪志远、赵晓兰、 董晓阳、陆岩柱、陈志强、王红球、黄韬、汤萍、吴禹强、何经余、李景升、赵银凤、施旖旎、陈艳珊、杨俊豪、 王新喜、刘光宇、吕磊、李庭辉、郑秋艳、滕鑫胜、孙福楠、常侠、牛迪、殷昊、王若雯、赵跃、王军锋、李安林、 方华、辛伶、杜雨桐、黄辉、李建浩、王祥科、张金波、李明、宫兵、张朋越、赵洁、杨扬仲夫、任希辉、何波、 唐中伟、程化鹏、谈益强、尹乐乐、周鹏云、唐霞梅。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———1993年首次发布为GB/T14603—1993,2009年第一次修订为GB/T14603—2009; ———1993年首次发布为GB/T14602—1993,2009年第一次修订为GB/T14602—2009、2014年第 二次修订时并入了GB/T24469—2009《电子工业用气体5N氯化氢》的内容; ———2003年首次发布为GB/T18994—2003,2014年第一次修订为GB/T18994—2014; ———1999年首次发布为GB/T17874—1999,2010年第一次修订为GB/T17874—2010,2021年第 二次修订为GB/T17874—2021; ———2010年首次发布为GB/T26251—2010; ———本次为第三次修订,将GB/T14603—2009、GB/T14602—2014、GB/T18994—2014、 GB/T17874—2021、GB/T26251—2010整合修订。 ⅡGB/T14603—2025 电子气体 卤化物气体 1 范围 本文件规定了卤化物气体的技术要求,描述了相应的试验方法,还规定了采样、检验规则、标志、包 装、运输及贮存要求并提供了安全信息。 本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T8984 气体分析 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化 气相色谱法 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T11736 居住区大气中氯卫生检验标准方法 甲基橙分光光度法 GB/T14193 液化气体气瓶充装规定 G