ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T16942—2025 代替GB/T16942—2009,GB/T14604—2009等 电子气体 大宗气体 Electronicgas—Bulkgas 2025-08-01发布 2026-02-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T16942—2009《电子工业用气体 氢》、GB/T14604—2009《电子工业用气体 氧》、 GB/T16945—2009《电子工业用气体 氩》、GB/T16944—2009《电子工业用气体 氮》、GB/T16943— 2009《电子工业用气体 氦》,与GB/T16942—2009、GB/T14604—2009、GB/T16945—2009、 GB/T16944—2009、GB/T16943—2009相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: ———更改了范围(见第1章,GB/T16942—2009的第1章、GB/T14604—2009的第1章、 GB/T16945—2009的第1章、GB/T16944—2009的第1章、GB/T16943—2009的第1章); ———增加了“术语和定义”(见第3章); ———更改了大宗气体的技术要求(见第4章,GB/T16942—2009的第3章、GB/T14604—2009的 第3章、GB/T16945—2009的第3章、GB/T16944—2009的第3章、GB/T16943—2009的 第3章); ———更改了采样的要求(见第5章,GB/T16942—2009的4.1.3、GB/T14604—2009的4.1.3、 GB/T16945—2009的4.1.3、GB/T16944—2009的4.1.3、GB/T16943—2009的4.1.3); ———更改了纯度计算方法(见6.1,GB/T16942—2009的4.2、GB/T14604—2009的4.2、 GB/T16945—2009的4.2、GB/T16944—2009的4.2、GB/T16943—2009的4.2); ———更改了氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.2,GB/T16942—2009的4.3和 4.4); ———增加了氢中氩含量的测定方法(见6.2); ———增加了氢中硫化氢含量的测定方法(见6.3); ———更改了氧中氢、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.4,GB/T14604—2009的4.3 和4.4); ———更改了氩中氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.5,GB/T16945—2009的 4.3); ———更改了氮中氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.6,GB/T16944—2009的4.3); ———增加了氮中氩含量的测定方法(见6.6); ———更改了氦中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.7,GB/T16943—2009的4.3); ———增加了氦中氖、氢、氩含量的测定方法(见6.7); ———删除了气体标准样品的要求(GB/T16942—2009的4.6、GB/T14604—2009的4.7、 GB/T16945—2009的4.5、GB/T16944—2009的4.5、GB/T16943—2009的4.5); ———更改了水分含量的测定方法(见6.9,GB/T16942—2009的4.7、GB/T14604—2009的4.8、 GB/T16945—2009的4.6、GB/T16944—2009的4.6、GB/T16943—2009的4.6); ———删除了氦气在20℃、101.3kPa状态下的体积计算方法(见GB/T16943—2009的第6章); ———增加了尾气处理的要求(见6.10); ———更改了检验规则(见第7章,GB/T16942—2009的4.1、GB/T14604—2009的4.1、 GB/T16945—2009的4.1、GB/T16944—2009的4.1、GB/T16943—2009的4.1); ———更改了标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求(见第8章,GB/T16942—2009的第5章、 GB/T14604—2009的第5章、GB/T16945—2009的第5章、GB/T16944—2009的第5章、 ⅠGB/T16942—2025 GB/T16943—2009的第5章)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、广东华特气体股份有限公司、上海亿钶气体股份 有限公司、河南省计量测试科学研究院、浙江省质量科学研究院、江苏华中气体有限公司、大连华邦化学 有限公司、福建久策气体股份有限公司、四川空分设备(集团)有限责任公司、广州广钢气体能源股份有 限公司、上海韩科科技有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、重庆瑞信 气体有限公司、宏芯气体(上海)有限公司、深圳捷工科技股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份 有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、朗析仪器(上海)有限公司、贵州省产品质量检验检测院、宿 州伊维特新材料有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、液化空气 (中国)投资有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公 司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、中国计量科 学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、中国计量大学、北京睿信捷 环保科技有限公司、中国计量测试学会、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、上海凡伟仪器设备有 限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:赵帅德、茹高艺、祝岩、李博、吴亚莲、王帅、叶相平、代井平、管仲、侯鹏、钱吉、 吴禹强、何经余、周勇、单鹏、邓韬、许高坡、贾厚成、张松、徐正军、史兰、江月军、金星屹、赵颖毅、刘军航、 董云海、黄英、谢世鹏、杨忠林、李建浩、孙福楠、郭琼、程化鹏、谈益强、尹乐乐、王飞华、兰锋、高静、殷昊、 张薇薇、常侠、牛迪、方华、赵艳超、依俊廷、黄辉、尹冬梅、王漫、张金波、宫兵、王大为、张朋越、赵洁、 杨扬仲夫、任希辉、何波、杨康、周鹏云、唐霞梅。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———1997年首次发布为GB/T16942—1997,2009年第一次修订为GB/T16942—2009; ———1993年首次发布为GB/T14604—1993,2009年第一次修订为GB/T14604—2009; ———1997年首次发布为GB/T16945—1997,2009年第一次修订为GB/T16945—2009; ———1997年首次发布为GB/T16944—1997,2009年第一次修订为GB/T16944—2009; ———1997年首次发布为GB/T16943—1997,2009年第一次修订为GB/T16943—2009; ———本次为第二次修订,将GB/T16942—2009、GB/T14604—2009、GB/T16945—2009、 GB/T16944—2009、GB/T16943—2009整合修订。 ⅡGB/T16942—2025 电子气体 大宗气体 1 范围 本文件规定了大宗气体的技术要求,描述了相应的试验方法,还规定了采样、检验规则、标志、包装、 运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以空气为原料分离净化,或以工业大宗气体为原料提纯制得的容器包装的大宗气体。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T3634.1 氢气 第1部分:工业氢 GB/T3863 工业氧 GB/T3864 工业氮 GB/T4842 氩 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化气相色谱法 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14194 压缩气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28123 工业氦 GB/T28124 气体分析 惰性气体中微量氢、氧、甲烷、一氧化碳含量的测定 氧化锆气相色谱法 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28727 气体分析 气体中微量硫化合物含量的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶 GB/T34528 气瓶集束装置充装规定 GB/T37182 气体分析 等离子发射气相色谱法 GB/T43306 气体分析 采样导则 TSG23 气瓶安全技术规程 TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 1GB/T16942—2025 3.1 大宗气体 bulkgas 包括氢气、氧气、氩气、氮气、