说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS 29.045 H80 中华人民共和国国家标准 GB/T 6621—2009 代替GB/T6621—1995 硅片表面平整度测试方法 Testing methods for surface flatness of silicon slices 2009-10-30发布 2010-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 G GB/T 6621—2009 前言 本标准代替GB/T6621一1995《硅抛光片表面平整度测试方法》。 本标准与GB/T6621一1995相比,主要变动如下: 将名称修改为“硅片表面平整度测试方法”; 去掉了目前较少采用的干涉法,只保留了目前常用的电容法; 一增加“引用标准”; 对“方法提要”“仪器装置”“测量程序”“计算”进行了全面修改; 经实验重新确定了精密度; 一在第一章增加本标准适用的试样范围; 在“试样”一章中说明对所测试样的要求。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准主要起草单位:上海合晶硅材料有限公司。 本标准主要起草人:徐新华、严世权、王珍 本标准所替代标准的历次版本发布情况为: GB/T6621—1986,GB/T6621—1995。 I GB/T 6621—2009 硅片表面平整度测试方法 1范围 本标准规定了用电容位移传感器测定硅抛光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蚀片也可参考此 方法。 本标准适用于测量标准直径76mm、100mm,125mm、150mm、200mm,电阻率不大于200α·cm 厚度不大于1000um的硅抛光片的表面平整度和直观描述硅片表面的轮廓形貌。 2方法概述 2.1将硅片平放人一对同轴对置的电容位移传感器(简称探头)之间,对探头施加一高频电压,硅片与 探头之间便形成了高频电场,其间各形成了一个电容。探头中电路测量其间电流变化量,便可测得该电 容值C。如图1所示。C由式(1)给出: 探头A 硅片 探头B D A,B探头间距离; A探头与上表面距离; a b——B探头与下表面距离; 一硅片厚度。 图1电容位移传感器测量方法示意图 C= ...(1) 9+p 式中: 在上、下探头和硅片表面之间所测得总电容值,单位为法拉(F); K 自由空间介电常数,单位为法拉每米F/m; 探头表面积,单位为平方米(m); 一A探头与上表面距离,单位为米(m); b一B探头与下表面距离,单位为米(m); 一主要由探头结构而产生的寄生电容,单位为法拉(F)。 2.2由于在测量时,两探头之间的距离D和下探头到下表面的距离6已经在校准时被固定,所以仪器 测得电容值C按式(1)进行计算,就可得到a,从而计算硅片表面平整度和其他几何参数。 2.3选择适当的参考面和焦平面以计算所需参数。 1
GB-T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 思安 于
2023-02-08 17:30:34
上传分享
举报
下载
原文档
(768.9 KB)
分享
友情链接
5-02-01-02 造林更新工.pdf
GB-T 41072-2021 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南.pdf
GB-T 4622.2-2022 管法兰用缠绕式垫片 第2部分:Class系列.pdf
ISO IEC 19770-11 2021 Information technology — IT asset management — Part 11 Requirements for bodies providing audit and certification of IT asset management systems.pdf
GB-T 5623-2008 产品电耗定额制定和管理导则.pdf
DB5133-T 63-2022 牦牛标准化育肥场布局及圈舍建设规范 甘孜藏族自治州.pdf
DB63-T372-2018 气象灾害分级指标 青海省.pdf
GB-T 3621-2007 钛及钛合金板材.pdf
GB-T 39997-2021 加油站埋地用热塑性塑料复合管道系统.pdf
GB-T 6728-2017 结构用冷弯空心型钢.pdf
DB14-T 281-2021 水泵装置节能技术导则 山西省.pdf
ISO 27001 信息安全管理体系实施案例及文件集 .pdf
GB-T 37565-2019 给水排水用格栅除污机通用技术条件.pdf
T-CIITA 117—2021 信息安全技术 零信任参考架构.pdf
DB11-T 1535-2018 供热管网节能监测 北京市.pdf
T-GDNS 004—2023 医疗机构信息系统等级保护定级工作指南.pdf
福建省数字政府改革和建设总体方案1.10.pdf
GM T 0130-2023 基于SM2算法的无证书及隐式证书公钥机制.pdf
T-JSDL 1—2017 高处作业吊篮施工安全管理规程.pdf
DB31-T 668.17-2020 节能技术改造及合同能源管理项目节能量审核与计算方法 第17部分:异形柔性保温 上海市.pdf
交流群
-->
1
/
3
8
评价文档
赞助2元 点击下载(768.9 KB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。